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今回は、神栄テクノロジー株式会社(以下、神栄テクノロジー)が2025年12月17日~19日に東京ビッグサイトで開催されたSEMICON Japan 2025 に出展した際の模様をご紹介いたします。
SEMICON Japanとは
SEMICON Japan は、半導体産業に関わる最新技術や製品が一堂に会する、国内最大級の国際展示会です。
神栄テクノロジーのブースでは、半導体製造の品質管理に欠かせない、ガス中の微量水分を測定する計測器が正しく機能していることを確認するための、校正や性能評価に関する新しいソリューションを紹介しました。
今回展示したのは、以下の2製品を組み合わせたシステムです。
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| 小型CRDS微量水分計:DewTracer mini CRDS-H₂O | Qrometric社(英国)製 校正装置:FPG |
両製品は、各国の国立計量標準機関(NMI:National Methttps://shinyei-tm.co.jp/humiditymeasurement/products/crdsrology Institute)による評価を受けており、測定結果の正確性および信頼性が国際的に確認されています。
従来の装置では対応がきわめて難しかった、露点(霜点)で −100 ℃という極めて乾燥した状態*についても、FPGにより安定してその状態をつくり出し、DewTracerで正確に測定することが可能です。これにより、ガス中の微量水分を測定する計測器の校正や性能評価を、より簡便に行える、世界的にも類を見ない画期的かつ超小型のシステムを実現しました。
*−100 ℃という低温になってようやく空気中に含まれる水蒸気が水滴になる(結露する)ほど水分量が極めて少ないこと
本展示は、半導体分野の来場者から多くの関心を集めました。
また、12月18日にはQrometric社のCEOである Robin Farley 氏も神栄テクノロジーのブースを訪れ、展示の支援や技術的な意見交換を行いました
なお、本展示でご紹介した DewTracer と FPG の組み合わせは、2026年1月にフランスで開催される「Gas Analysis 2026」 においても、神栄テクノロジーのブースで展示を予定しています。
今後も神栄テクノロジーは、独自開発に加え、世界的なパートナーとの連携による「共創」を通じて、次世代産業や高度なものづくりの発展に貢献してまいります。
上:DewTracer、下:FPG |
露点 −100 ℃近辺の極めて乾燥した領域において、値がほぼ一致している様子が来場者の関心を集めました。
中央:Qrometric社 CEO Robin Farley氏 |
展示期間中、ブースにて説明を担当した 村田 優さん。 |
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